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光纤相移点衍射干涉仪关键技术 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
caj(1235Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:285/98  |  提交时间:2016/07/06
高精度检测  光纤相移点衍射干涉仪  光学系统波像差  激光光源  光纤  
Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 1297-1303
作者:  Han, D.-S.;  X. He;  Z.-H. Wei and Y.-M. Li
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光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:249/2  |  提交时间:2015/05/03
光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110449616.3, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人:  张海涛;  于杰;  马冬梅;  金春水
Adobe PDF(449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:333/114  |  提交时间:2015/02/10
双光纤相移点衍射干涉仪装调技术 期刊论文
红外与激光工程, 2014, 期号: 1, 页码: 145-150
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:321/97  |  提交时间:2015/04/17
装调技术  双光纤相移点衍射干涉仪  光学系统波像差  光学检测  
点衍射干涉仪波前参考源标定算法的研究 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 03, 页码: 177-183
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
caj(983Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:492/84  |  提交时间:2013/03/11
测量  标定算法  波前参考源  相移点衍射干涉仪  
旋转支撑法去除元件面形测量的夹持误差 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 8, 页码: 0812004-1
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(1572Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:589/188  |  提交时间:2012/05/11
用于相移点衍射干涉仪的加权最小二乘相位提取算法 期刊论文
中国光学与应用光学, 2010, 卷号: 3, 期号: 6
作者:  于杰
caj(1108Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:394/97  |  提交时间:2012/09/25
基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模 期刊论文
中国光学与应用光学, 2010, 卷号: 3, 期号: 6
作者:  张海涛;  录用通知
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:408/82  |  提交时间:2012/09/25