中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
浏览  |  Adobe PDF(985Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：594/182  |  提交时间：2019/09/17
Multilayers  Extreme ultraviolet lithography  Fabrication  Mirrors  Reflection  
Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者:  Yu, B.;  C. Li;  C. Jin and C. Wang
浏览  |  Adobe PDF(1342Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：370/81  |  提交时间：2017/09/11
X射线超反射镜设计 期刊论文
光学精密工程, 2003, 期号: 01, 页码: 49-54
作者:  张众;  王占山;  王风丽;  秦树基;  陈玲燕
caj(70Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：402/81  |  提交时间：2013/03/11
X射线超反射镜  梯度多层膜  单纯形调优