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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 张璐 caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:326/0  |  提交时间:2020/08/24 光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 1297-1303 作者: Han, D.-S.; X. He; Z.-H. Wei and Y.-M. Li 浏览  |  Adobe PDF(1605Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:291/97  |  提交时间:2016/08/24 |
| 光学面形的旋转绝对检测技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 张艳微 Adobe PDF(1884Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:422/2  |  提交时间:2015/05/03 干涉检测 绝对检测 旋转法绝对检测 误差分析 |
| 基于有限元法的面形反演模型 期刊论文 光子学报, 2014, 期号: 8, 页码: 73-78 作者: 刘永明; 谢军; 田伟; 隋永新; 刘震宇 caj(408Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:461/88  |  提交时间:2015/04/17 绝对检测 旋转平均法 反演模型 干涉检测 Zernike多项式 |
| 基于旋转平均补偿算法的旋转非对称面形绝对检测 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 222-227 作者: 张艳微; 苏东奇; 隋永新; 杨怀江 caj(444Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:333/115  |  提交时间:2015/04/17 测量 误差补偿 旋转平均法 旋转非对称面形 绝对检测 |
| 光学精密透镜的光力学耦合分析与优化设计 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 刘永明 Adobe PDF(2728Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:383/1  |  提交时间:2014/08/21 |