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| 大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者: 陈琦
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扫描干涉光刻系统 高精度工作台 气体静压导轨 摩擦驱动 纳米级定位 |
| 基于杠杆模式施载的圆弧刃光栅刻画刀具刃磨机床研制 期刊论文
机械工程学报, 2016, 期号: 9, 页码: 201-207
作者: 吉日嘎兰图; 李晓天; 刘凯; 张善文; 巴音贺希格; 齐向东; 唐玉国
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杠杆模式 圆弧刃 光栅刻画刀 刃磨机床 |
| Development of arc-edge tool lapping machine for grating ruling based on leverage load mode 期刊论文
Jixie Gongcheng Xuebao/Journal of Mechanical Engineering, 2016, 卷号: 52, 期号: 9
作者: Jirigalantu; X. Li; K. Liu; S. Zhang; Bayanheshig; X. Qi and Y. Tang
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| Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者: Chen, Q.
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| 测绘相机标定转台结构系统关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者: 田学光
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| 磁悬浮微进给机构电磁场研究 期刊论文
电光与控制, 2004, 期号: 03, 页码: 23-25
作者: 杨秀华; 王延风; 卢志山
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Cad/cae 磁悬浮 直线电机 光刻机 有限元法 |
| 磁悬浮轴承式超精密微进给机构 (实用新型) 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2004-09-29, 公开日期: 2004-09-29
发明人: 宋文荣; 何惠阳; 于国飞; 王延风; 查明
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| 磁悬浮微进给机构的PID控制 期刊论文
哈尔滨工业大学学报, 2004, 期号: 01, 页码: 28-31
作者: 宋文荣; 于国飞; 王延风; 何惠阳; 韩红霞
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磁悬浮 微进给机构 直线电机 Pid控制 电磁阻尼 时变 |
| 磁悬浮微进给机构研究 期刊论文
中国机械工程, 2003, 期号: 13, 页码: 16-19+3
作者: 宋文荣; 于国飞; 王延风; 何惠阳
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磁悬浮 微进给机构 直线电机 超洁净 进给精度 |
