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基于静电诱导技术的微流体通道的一步制作研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  陈厚凯
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Love波传感器的性能分析与实验 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 10, 页码: 2457-2463
作者:  李锋;  张平;  刘永顺;  吴一辉
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Love波传感器的分析与测试 期刊论文
传感器与微系统, 2011, 卷号: 30, 期号: 9, 页码: 143-145
作者:  李锋;  吴一辉
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平面电磁型微电机定转子制作工艺 期刊论文
微纳电子技术, 2009, 期号: 9
作者:  杨杰伟;  刘治华;  赵江铭;  吴一辉
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微电机  大深宽比  平面线圈  深刻蚀  微电铸  
含N_N_二乙基硫脲添加剂的微电铸工艺金属铜填洞机理 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 9
作者:  吴一辉
caj(465Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:329/52  |  提交时间:2012/09/25
基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵 期刊论文
功能材料与器件学报, 2008, 期号: 1
作者:  吴一辉;  张平
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平面微电机定子线圈制作工艺研究 期刊论文
微细加工技术, 2006, 卷号: 3, 期号: 3, 页码: 27
作者:  吴一辉;  王淑荣
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