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大量程高性能光栅位移测量技术 期刊论文
计测技术, 2023, 卷号: 43, 期号: 01, 页码: 81-90
作者:  刘林;  刘兆武;  于宏柱;  王玮;  姜岩秀;  姜珊;  孙宇佳;  金思宇;  梁旭;  巴音贺希格;  李文昊
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全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  宋莹
Adobe PDF(5623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：523/2  |  提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光  扫描干涉场曝光  干涉条纹  移频式  静态相位锁定  动态相位锁定  Aom  
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：395/115  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差