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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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WOS被引频次降序
大量程高性能光栅位移测量技术
期刊论文
计测技术, 2023, 卷号: 43, 期号: 01, 页码: 81-90
作者:
刘林
;
刘兆武
;
于宏柱
;
王玮
;
姜岩秀
;
姜珊
;
孙宇佳
;
金思宇
;
梁旭
;
巴音贺希格
;
李文昊
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提交时间:2024/08/16
全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究
学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:
宋莹
Adobe PDF(5623Kb)
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浏览/下载:523/2
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提交时间:2015/05/03
全息光栅曝光
扫描干涉场曝光
干涉条纹
移频式
静态相位锁定
动态相位锁定
Aom
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:
姜珊
;
巴音贺希格
;
李文昊
;
宋莹
;
潘明忠
caj(447Kb)
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浏览/下载:395/115
  |  
提交时间:2015/04/17
光栅
扫描干涉场曝光系统
相位锁定
光栅周期
刻线误差