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应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 02, 页码: 344-353
作者:  李华东;  齐克奇;  石强;  王少鑫;  王智
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精密驱动  尺蠖运动  压电驱动器  驱动力  位移分辨率  
电极不对称性对惯性传感器性能损失的研究 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 455-462
作者:  王少鑫;  齐克奇;  王玉坤;  王智;  陈立恒
caj(2680Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:246/50  |  提交时间:2020/08/24
惯性传感器  敏感结构  电极不对称  量程  
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:  方超;  向阳;  齐克奇
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测量  光栅  相位  干涉  串扰  重复精度  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
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Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts