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激光陀螺超光滑反射镜基片的光学加工和检测技术 期刊论文
航空精密制造技术, 2003, 期号: 02, 页码: 5-9
作者:  王金林;  陈明;  韩荣久;  刘伟奇中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;  吴清文中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;  裴舒
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激光陀螺  浮法抛光  相移干涉  原子力显微镜  分形  
浮法抛光亚纳米级光滑表面 期刊论文
光学学报, 1995, 期号: 06, 页码: 824-825
作者:  高宏刚;  曹健林;  陈星旦
caj(65Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:491/51  |  提交时间:2013/03/12
超光滑表面  亚纳米  浮法抛光  
纳米级光学超精密加工技术 期刊论文
物理, 1992, 期号: 12, 页码: 726-731
作者:  于劲;  曹健林
caj(332Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:437/66  |  提交时间:2013/03/11
超精密加工技术:7094  浮法抛光:3425  纳米级:3411  表面粗糙度:2834  Spdt:2615  离子束抛光:2163  亚纳米:1538  光电子学:1298  原子:1190  主轴:1127