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绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 7, 页码: 1814-1819
作者:  刘华;  卢振武;  熊峥;  王尧;  王鹤;  黄剑波;  谭向全;  孙强
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：370/146  |  提交时间：2015/04/17
绝对式光栅尺  光栅码道  母尺刻划  数字微镜器件  曝光头  计量光栅  
绝对式光栅尺读数头滑架机构工作精度的分析 期刊论文
计算机仿真, 2014, 期号: 7, 页码: 403-407
作者:  郑黎明;  黄剑波
caj(418Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/86  |  提交时间：2015/04/17
绝对式光栅尺  读数头  虚拟样机仿真  
基于JC09光栅尺位移传感器的光栅副间隙分析 期刊论文
制造技术与机床, 2014, 期号: 7, 页码: 123-127
作者:  张雪鹏;  蔺春波;  吴宏圣
caj(321Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/105  |  提交时间：2015/04/17
位移传感器  光栅尺  间隙  
绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计 期刊论文
机电产品开发与创新, 2014, 期号: 2, 页码: 108-109+79
作者:  郑黎明;  谭向全
caj(482Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：329/122  |  提交时间：2015/04/17
绝对式光栅尺  母尺光栅  刻划装置  曝光光源