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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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期刊论文 [3]
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2013 [3]
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光学精密工程 [2]
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发表日期:2013
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提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究
期刊论文
红外与激光工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2036-2040
作者:
谢耀
;
赵永蓬
;
王骐
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提交时间:2014/03/07
毛细管
软x射线激光
Xrd
Rowland谱仪
类氖氩
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析
期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:
高飒飒
;
卢启鹏
;
彭忠琦
;
龚学鹏
caj(821Kb)
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浏览/下载:516/146
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提交时间:2014/03/07
X射线干涉光刻光束线
精密狭缝
四刀结构
重复精度
有限元分析
光学表面的X射线异常散射现象
期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 02, 页码: 253-259
作者:
孟艳丽
;
李达
;
陈波
caj(859Kb)
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浏览/下载:393/131
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提交时间:2014/03/07
X射线异常散射
镜像反射
异常散射角
散射强度
临界角
表面粗糙度