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提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究 期刊论文
红外与激光工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2036-2040
作者:  谢耀;  赵永蓬;  王骐
caj(734Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：632/138  |  提交时间：2014/03/07
毛细管  软x射线激光  Xrd  Rowland谱仪  类氖氩  
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：516/146  |  提交时间：2014/03/07
X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析  
光学表面的X射线异常散射现象 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 02, 页码: 253-259
作者:  孟艳丽;  李达;  陈波
caj(859Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：393/131  |  提交时间：2014/03/07
X射线异常散射  镜像反射  异常散射角  散射强度  临界角  表面粗糙度