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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [5]
作者
何飞 [1]
文献类型
期刊论文 [5]
发表日期
2012 [5]
语种
中文 [1]
出处
光学学报 [3]
吉林大学学报(工学版... [1]
长春理工大学学报(自... [1]
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CNKI [1]
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发表日期:2012
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X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析
期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 306-312
作者:
高飒飒
;
卢启鹏
;
彭忠琦
;
龚学鹏
caj(977Kb)
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浏览/下载:693/135
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提交时间:2013/03/11
X射线光学
功率密度分布
热平衡
面形误差
有限元分析
极紫外光刻离轴照明技术研究
期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152
作者:
王君
;
金春水
;
王丽萍
;
卢增雄
caj(583Kb)
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收藏
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浏览/下载:591/110
  |  
提交时间:2013/03/11
X射线光学
极紫外光刻
分辨率增强
离轴照明阴影效应
光刻胶
方孔微通道板结构缺陷对成像质量的影响
期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 10, 页码: 92-101
作者:
李旭
;
何飞
;
李达
;
陈波
caj(2870Kb)
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浏览/下载:615/141
  |  
提交时间:2013/03/11
成像系统
X射线光学
微通道板
光线追迹
结构缺陷
软X射线波段透射光栅检测系统
期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 03, 页码: 50-53
作者:
李旭
;
何飞
;
陈波
caj(1142Kb)
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浏览/下载:633/112
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提交时间:2013/03/11
透射光栅
检测系统
空心阴极光源
软x射线
软X射线波段透射光栅衍射效率检测系统
期刊论文
吉林大学学报(工学版), 2012, 期号: 04, 页码: 1011-1016
作者:
李旭
;
何飞
;
陈波
caj(899Kb)
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浏览/下载:492/166
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提交时间:2014/03/07
光电子学与激光技术
软x射线
透射光栅
衍射效率
实验标定
光栅模型