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X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 306-312
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(977Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：693/135  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  功率密度分布  热平衡  面形误差  有限元分析  
极紫外光刻离轴照明技术研究 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  卢增雄
caj(583Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：591/110  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  极紫外光刻  分辨率增强  离轴照明阴影效应  光刻胶  
方孔微通道板结构缺陷对成像质量的影响 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 10, 页码: 92-101
作者:  李旭;  何飞;  李达;  陈波
caj(2870Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：615/141  |  提交时间：2013/03/11
成像系统  X射线光学  微通道板  光线追迹  结构缺陷  
软X射线波段透射光栅检测系统 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 03, 页码: 50-53
作者:  李旭;  何飞;  陈波
caj(1142Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：633/112  |  提交时间：2013/03/11
透射光栅  检测系统  空心阴极光源  软x射线  
软X射线波段透射光栅衍射效率检测系统 期刊论文
吉林大学学报(工学版), 2012, 期号: 04, 页码: 1011-1016
作者:  李旭;  何飞;  陈波
caj(899Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：492/166  |  提交时间：2014/03/07
光电子学与激光技术  软x射线  透射光栅  衍射效率  实验标定  光栅模型