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绝对式光栅尺故障模式分析 期刊论文
机电产品开发与创新, 2017, 页码: 168-170
作者:  张雪鹏;  刘阳;  马俊林
caj(145Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：286/109  |  提交时间：2018/04/09
绝对式光栅尺  可靠性  故障模式  
绝对式光栅尺的机械结构设计 期刊论文
机电产品开发与创新, 2015, 期号: 05, 页码: 28-29
作者:  杨帆
caj(150Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：235/98  |  提交时间：2016/07/06
绝对式光栅尺  工作原理  原理样机  
绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法 期刊论文
机电产品开发与创新, 2015, 期号: 04, 页码: 92-93+96
作者:  郑黎明
caj(584Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：230/99  |  提交时间：2016/07/06
绝对式光栅尺  精度检测  激光干涉仪  精度修正  
绝对式光栅尺振动干扰的测试 期刊论文
机电产品开发与创新, 2015, 期号: 04, 页码: 119-121
作者:  蔺春波;  杨帆;  吴宏圣
caj(613Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：215/68  |  提交时间：2016/07/06
绝对式光栅尺  振动干扰  Biss协议  Endat协议  
光栅副间隙动态测量设备的设计 期刊论文
机电产品开发与创新, 2015, 期号: 02, 页码: 26-28
作者:  张雪鹏;  吴宏圣
caj(286Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：283/98  |  提交时间：2016/07/06
光栅尺  光栅副  间隙测量  
绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计 期刊论文
机电产品开发与创新, 2014, 期号: 2, 页码: 108-109+79
作者:  郑黎明;  谭向全
caj(482Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：329/122  |  提交时间：2015/04/17
绝对式光栅尺  母尺光栅  刻划装置  曝光光源