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光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 235-239
作者:  杨旺;  黄玮;  许伟才;  尚红波
caj(1531Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：536/116  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  杂散光  功率谱密度  公差分析  光刻物镜