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大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 02, 页码: 473-480
作者:  糜小涛;  于宏柱;  高键翔;  于海利;  张善文;  齐向东
caj(515Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：335/106  |  提交时间：2016/07/06
微定位系统  控制器设计  数学模型  定位精度  
微机械中超声微电机的研究 期刊论文
仪器仪表学报, 1995, 期号: S1, 页码: 275-278
作者:  崔天宏;  王立鼎;  吕琼莹
caj(118Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：418/71  |  提交时间：2013/03/11
超声微电机:8947  微机械:3058  广义瑞利波:2704  电磁微电机:1459  应力场:547  数学模型:546  转子:409  优化设计:379  应用前景:354  模拟仿真:325