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PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文） 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:  陈芳;  方铉;  王双鹏;  牛守柱;  方芳;  房丹;  唐吉龙;  王晓华;  刘国军;  魏志鹏
caj(194Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：363/97  |  提交时间：2017/09/17
氮化铝  等离子增强原子层沉积  生长速率  结晶化  表面粗糙度  沉积温度  
Design of off-axis three-mirror optical system with wide field of view based on transfer matrix 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 4
作者:  Wang, Y.;  W. Liu;  D. Zhang;  X. Meng;  Y. Kang and Z. Wei
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Analysis and Correction of Spectral Curvature in Hadamard Transform Spectrometer with DMD 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2016, 卷号: 36, 期号: 2
作者:  Quan, X. Q.;  H. Liu;  Z. W. Lu;  X. D. Wang;  B. S. Dang;  X. Z. Chen and F. Wang
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Effect of deposition temperature on the structural and surface properties of AlN by plasma enhanced atomic layer deposition 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 4
作者:  Chen, F.;  X. Fang;  S. Wang;  S. Niu;  F. Fang;  D. Fang;  J. Tang;  X. Wang;  G. Liu and Z. Wei
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Application of adaptive weighted centroid algorithm in high accuracy star localization 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 8
作者:  Liu, N.;  S. Xu;  X. Cao and D. Wang
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