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高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140
作者:  王辉;  于杰;  周烽;  王丽萍
caj(551Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：627/147  |  提交时间：2013/03/11
测量  极紫外光刻  高重复性干涉仪  有限元分析  检测支撑  
干涉测量框架结构设计及稳定性分析 期刊论文
中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 132-135
作者:  周烽;  王辉;  王丽萍
caj(404Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：548/147  |  提交时间：2013/03/11
测量  稳定性分析  干涉测量框架  有限元分析  随机振动分析  
一种用于高精度面形检测的光学元件支撑装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-20, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  王辉;  周烽;  王丽萍;  金春水
Adobe PDF(322Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：480/62  |  提交时间：2012/08/29
一种用于ＥＵＶ光刻系统的复眼反射镜制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  金春水;  王辉;  郑琪峰;  周烽;  王丽萍
Adobe PDF(266Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：515/88  |  提交时间：2012/08/29
一种高精度光学元件的装配装置及无应力装配方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-07, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  王辉;  周烽;  郑琪峰;  王丽萍;  金春水
Adobe PDF(518Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：471/90  |  提交时间：2012/08/29