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| 高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文 中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140 作者: 王辉 ; 于杰 ; 周烽 ; 王丽萍![](/image/person.jpg)
caj(551Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:634/148  |  提交时间:2013/03/11 测量 极紫外光刻 高重复性干涉仪 有限元分析 检测支撑 |
| 干涉测量框架结构设计及稳定性分析 期刊论文 中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 132-135 作者: 周烽 ; 王辉 ; 王丽萍![](/image/person.jpg)
caj(404Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:550/147  |  提交时间:2013/03/11 测量 稳定性分析 干涉测量框架 有限元分析 随机振动分析 |
| 一种用于高精度面形检测的光学元件支撑装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-20, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 王辉 ; 周烽 ; 王丽萍 ; 金春水![](/image/person.jpg)
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| 一种用于EUV光刻系统的复眼反射镜制作方法 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 金春水 ; 王辉 ; 郑琪峰; 周烽 ; 王丽萍![](/image/person.jpg)
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| 一种高精度光学元件的装配装置及无应力装配方法 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-07, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 王辉 ; 周烽 ; 郑琪峰; 王丽萍 ; 金春水![](/image/person.jpg)
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