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一种检验非接触式测角系统精度的检测台 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-05-20, 公开日期: 2009-05-20
发明人:  于萍;  张尧禹;  时魁;  李岷;  李岩;  尹秀云;  于国权
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一种全息光栅制作中曝光量的实时监测装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-05-13, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  李文昊;  巴音贺希格;  于宏柱;  王长庚;  孔鹏
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