Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种全息光栅制作中曝光量的实时监测装置 (发明) | |
| 李文昊; 巴音贺希格; 于宏柱; 王长庚; 孔鹏 | |
| 2009-05-13 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 一种全息光栅制作中曝光量的实时监测装置，属于光谱技术领域中涉及的实时监测曝光量装置。要解决的技术问题是提供一种全息光栅制作中曝光量实时监测装置。技术方案包括光栅基底、潜像光栅、记录光束、干涉场、光电接收器、记录激光器、平面反射镜、空间滤波器、准直反射镜、调整反射镜、监测激光器、数据处理系统和显示器；将涂有光致抗蚀剂的光…… |
| 资助项目 | 101430395 |
| 申请号 | 200810187630.9 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11556 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李文昊,巴音贺希格,于宏柱,等. 一种全息光栅制作中曝光量的实时监测装置 (发明)[P]. 2009-05-13. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200910143039500000（337KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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