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氢原子在Cat-CVD法制备多晶硅薄膜中的作用 期刊论文
液晶与显示, 2004, 期号: 06, 页码: 450-454
作者:  邝俊峰;  付国柱;  高博;  高文涛;  黄金英;  廖燕平;  荆海
caj(53Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/78  |  提交时间：2013/03/11
多晶硅薄膜  氢原子  催化化学气相沉积  
激光晶化多晶硅的制备与XRD谱 期刊论文
吉林大学学报(理学版), 2004, 期号: 01, 页码: 99-102
作者:  廖燕平;  黄金英;  郜峰利;  邵喜斌;  付国柱;  荆海;  缪国庆
caj(89Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：424/70  |  提交时间：2013/03/11
氢化非晶硅  脱氢  激光晶化  多晶硅  X射线衍射  半宽度