CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
激光晶化多晶硅的制备与XRD谱
廖燕平; 黄金英; 郜峰利; 邵喜斌; 付国柱; 荆海; 缪国庆
2004-03-26
发表期刊吉林大学学报(理学版)
期号01页码:99-102
关键词氢化非晶硅 脱氢 激光晶化 多晶硅 X射线衍射 半宽度
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28780
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
廖燕平,黄金英,郜峰利,等. 激光晶化多晶硅的制备与XRD谱[J]. 吉林大学学报(理学版),2004(01):99-102.
APA 廖燕平.,黄金英.,郜峰利.,邵喜斌.,付国柱.,...&缪国庆.(2004).激光晶化多晶硅的制备与XRD谱.吉林大学学报(理学版)(01),99-102.
MLA 廖燕平,et al."激光晶化多晶硅的制备与XRD谱".吉林大学学报(理学版) .01(2004):99-102.
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