Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
激光晶化多晶硅的制备与XRD谱 | |
廖燕平; 黄金英; 郜峰利; 邵喜斌; 付国柱; 荆海; 缪国庆 | |
2004-03-26 | |
发表期刊 | 吉林大学学报(理学版) |
期号 | 01页码:99-102 |
关键词 | 氢化非晶硅 脱氢 激光晶化 多晶硅 X射线衍射 半宽度 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28780 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 廖燕平,黄金英,郜峰利,等. 激光晶化多晶硅的制备与XRD谱[J]. 吉林大学学报(理学版),2004(01):99-102. |
APA | 廖燕平.,黄金英.,郜峰利.,邵喜斌.,付国柱.,...&缪国庆.(2004).激光晶化多晶硅的制备与XRD谱.吉林大学学报(理学版)(01),99-102. |
MLA | 廖燕平,et al."激光晶化多晶硅的制备与XRD谱".吉林大学学报(理学版) .01(2004):99-102. |
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