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Research on Surface Roughness Related Coating Processes of Mo/Si Multilayers 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 7
作者:  S. Sun,C. Jin,B. Yu,T. Guo,S. Yao,C. Li and W. Deng
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Reflection and Resputtering of Mo/Si Atoms During High-Energy Deposition 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 8
作者:  S. Sun,C. Jin,B. Yu,T. Guo,S. Yao,C. Li and W. Deng
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Characteristics of Modulation Transfer Function of PixelCoupling Between Array Fiber Image Bundles and Array CCD 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 5
作者:  He, X.;  L. Yuan;  C. Jin and X. Zhang
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Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者:  Wang, X.;  C. Jin;  C. Li and S. Kuang
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Extreme ultraviolet lithography objective design based on grouping and graphical user interface 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 12
作者:  Wang, J.;  L. Wang;  C. Jin;  L. Miao and Y. Xie
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Design of polarization control system for the wavefront reference source of fiber point diffraction interferometer 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 11
作者:  Dai X.;  Jin C.;  Wang L.;  Yu J.
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Simulation model of surface carbon deposition contamination under extreme ultraviolet radiation 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 5
作者:  Wang X.;  Jin C.;  Kuang S.;  Yu B.;  Jin F.
caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：244/76  |  提交时间：2015/04/24
Foundation and application of model for multilayers analysis in extreme ultra-violet lithography projection 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 8
作者:  Wang J.;  Jin C.;  Wang L.;  Guo B.;  Yu B.
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：270/78  |  提交时间：2015/04/24