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高功率TEA CO_2激光器控制系统设计 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 7, 页码: 54-59
作者:  于德洋;  郭立红;  陈飞;  孟范江;  杨贵龙;  邵明振
caj(350Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：288/108  |  提交时间：2017/09/17
Tea Co_2激光器  Dsp  控制系统  电磁干扰  
转台伺服系统被控对象的频率特性测试 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 5, 页码: 244-247
作者:  张敏;  陈涛;  李洪文;  巩明德;  杨飞
caj(225Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：317/115  |  提交时间：2017/09/17
伺服系统  辨识  频率特性  传递函数  
PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文） 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:  陈芳;  方铉;  王双鹏;  牛守柱;  方芳;  房丹;  唐吉龙;  王晓华;  刘国军;  魏志鹏
caj(194Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：336/97  |  提交时间：2017/09/17
氮化铝  等离子增强原子层沉积  生长速率  结晶化  表面粗糙度  沉积温度