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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [4]
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期刊论文 [4]
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2007 [1]
2006 [2]
2004 [1]
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微细加工技术 [4]
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出处:微细加工技术
文献类型:期刊论文
专题:中科院长春光机所知识产出
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脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜
期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 2
作者:
马波
;
刘波
;
吴一辉
;
贾宏光
;
张平
caj(1169Kb)
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浏览/下载:385/102
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提交时间:2012/09/25
硅基
镍铁薄膜
脉冲电流
晶粒
一种PDMS微混合器的制备及性能分析
期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 2
作者:
李淑娴
;
吴一辉
;
贾宏光
;
张平
;
王淑荣
;
宣明
caj(291Kb)
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浏览/下载:427/62
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提交时间:2012/09/25
微混合器
Pdms
模压
透射比
混合
基于MEMS的双功能温控芯片的设计与制作
期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 2
作者:
刘利娜
;
贾宏光
;
王淑荣
;
吴一辉
caj(70Kb)
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浏览/下载:423/77
  |  
提交时间:2012/09/25
微全分析系统
双功能温控芯片
Mems
温度控制
用于微摩擦测试的微力传感器及其制作
期刊论文
微细加工技术, 2004, 期号: 03, 页码: 65-69
作者:
黎海文
;
吴一辉
;
李也凡
;
张平
;
王淑荣
;
贾宏光
caj(69Kb)
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浏览/下载:358/62
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提交时间:2013/03/11
Mems
微摩擦测试
微力传感器