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纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：345/95  |  提交时间：2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
桌面97单元自适应光学系统性能测试 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1272-1280
作者:  林旭东;  刘欣悦;  王帅;  王建立;  卫沛锋;  王亮;  贾建禄;  陈宝刚;  汪宗洋;  姚凯男
caj(623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：366/133  |  提交时间：2017/09/17
自适应光学  性能测试  动态校正  精密跟踪  变形镜  斯特列尔比  相位屏