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电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552
作者:  葛川;  张德福;  李朋志;  郭抗;  李佩玥;  杨怀江
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电容传感器  位移传感器  标定  线性度  不确定度  光刻投影物镜  
光电跟踪设备载车平台的重复定位精度 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 05, 页码: 1322-1330
作者:  高云国;  王超;  江展洪;  乔健
caj(397Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：256/105  |  提交时间：2016/07/06
光电跟踪设备  载车平台  副车架  三点支撑  重复定位精度