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极紫外光刻离轴照明技术研究 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  卢增雄
caj(583Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：565/105  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  极紫外光刻  分辨率增强  离轴照明阴影效应  光刻胶  
全息曝光系统轴向调节误差对光栅衍射波像差的影响 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 07, 页码: 58-65
作者:  韩建;  巴音贺希格;  李文昊;  孔鹏
caj(1971Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：481/90  |  提交时间：2013/03/11
衍射  叠栅条纹  光栅波像差  相对离焦  
激光拍频信号光子到达时间间隔特性分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 04, 页码: 31-38
作者:  刘立生;  张合勇;  赵帅;  郭劲
caj(805Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：512/114  |  提交时间：2013/03/11
统计光学  光子到达时间间隔  拍频信号  概率密度函数  混合效率  暗计数  
全息光栅制作中光栅掩模形状随曝光量及干涉场条纹对比度的变化规律 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 03, 页码: 9-15
作者:  韩建;  巴音贺希格;  李文昊;  孔鹏
caj(589Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：600/179  |  提交时间：2013/03/11
光栅  曝光量  条纹对比度  占宽比  槽深  
小型宽波段凹面全息光栅单色仪的优化设计 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 02, 页码: 255-261
作者:  曾瑾;  巴音贺希格;  李文昊
caj(696Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：471/73  |  提交时间：2013/03/11
光栅  凹面全息光栅  单色仪  消像差