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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [6]
作者
文献类型
期刊论文 [6]
发表日期
2003 [1]
2001 [2]
1999 [3]
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出处
光学仪器 [6]
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偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调
期刊论文
光学仪器, 2003, 期号: 04, 页码: 39-43
作者:
林强
;
金春水
;
向鹏
;
马月英
;
裴舒
;
曹健林
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提交时间:2013/03/11
极紫外投影光刻
Schwarzschild投影物镜
计算机辅助装调
软X射线激光多层膜均匀性控制技术
期刊论文
光学仪器, 2001, 期号: Z1, 页码: 154-160
作者:
林炳
;
金春水
;
马月英
;
裴舒
;
曹健林
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提交时间:2013/03/11
软x射线激光
多层膜
均匀性控制
高反射率13nmMo/Si多层膜
期刊论文
光学仪器, 2001, 期号: Z1, 页码: 149-153
作者:
刘毅楠
;
马月英
;
曹健林
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浏览/下载:359/78
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提交时间:2013/03/11
软x射线多层膜
原子力显微镜
离子束溅射镀膜
C/Al软X射线多层膜反射镜的制备与测量
期刊论文
光学仪器, 1999, 期号: Z1, 页码: 119-122
作者:
吕俊霞
;
马月英
;
裴舒
;
曹健林
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提交时间:2013/03/11
软x射线
多层膜反射镜
用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜
期刊论文
光学仪器, 1999, 期号: Z1, 页码: 22-26
作者:
王国田
;
马月英
;
曹健林
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提交时间:2013/03/11
软x射线多层膜
离子束溅射
反射率计
28.4nm和30.4nm波段的C/Si多层膜
期刊论文
光学仪器, 1999, 期号: Z1, 页码: 200-203
作者:
王国田
;
马月英
;
曹健林
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提交时间:2013/03/11
X射线光学
多层膜反射镜
离子束溅射