CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜
王国田; 马月英; 曹健林
1999-10-30
发表期刊光学仪器
期号Z1页码:22-26
关键词软x射线多层膜 离子束溅射 反射率计
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32150
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
王国田,马月英,曹健林. 用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜[J]. 光学仪器,1999(Z1):22-26.
APA 王国田,马月英,&曹健林.(1999).用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜.光学仪器(Z1),22-26.
MLA 王国田,et al."用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜".光学仪器 .Z1(1999):22-26.
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