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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [3]
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期刊论文 [3]
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2017 [3]
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中文 [3]
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中国激光 [3]
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出处:中国激光
语种:中文
文献类型:期刊论文
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WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响
期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者:
王依
;
卢启鹏
;
高云国
caj(173Kb)
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浏览/下载:367/131
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提交时间:2018/04/09
薄膜
极紫外光刻
碳污染
清洗技术
反射率
移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定
期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者:
宋莹
;
赵旭龙
;
姜岩秀
;
巴音贺希格
;
齐向东
caj(373Kb)
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浏览/下载:455/137
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提交时间:2018/04/09
全息
全息光栅
干涉条纹锁定
分束光栅
叠栅条纹
紧凑型中红外固体激光器散热性能分析
期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 26-31
作者:
张阔
;
于德洋
;
何洋
;
潘其坤
;
陈飞
;
李殿军
caj(159Kb)
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浏览/下载:445/118
  |  
提交时间:2018/04/09
激光器
固体激光器
温度分布
强制对流散热
热管