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An accurate method for measuring interference fringe period in scanning beam interference lithography system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 7
作者:  Jiang, S.;  Bayanheshig;  M. Pan;  W. Li and Y. Song
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Research on freeform optical system aberration characteristic based on vector aberration 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 12
作者:  Shi, H.;  H. Jiang;  X. Zhang;  L. Wang and Y. Wu
caj(1616Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：275/74  |  提交时间：2016/08/24
Design of a varied-line-space plane grating in EUV spectrum 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 1
作者:  Jiang, Y.;  Bayanheshig;  S. Yang;  X. Zhao;  W. Li and N. Wu
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