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大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  陈琦
caj(653Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：326/102  |  提交时间：2017/09/17
扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位  
基于杠杆模式施载的圆弧刃光栅刻画刀具刃磨机床研制 期刊论文
机械工程学报, 2016, 期号: 9, 页码: 201-207
作者:  吉日嘎兰图;  李晓天;  刘凯;  张善文;  巴音贺希格;  齐向东;  唐玉国
caj(610Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：522/150  |  提交时间：2017/09/17
杠杆模式  圆弧刃  光栅刻画刀  刃磨机床  
Development of arc-edge tool lapping machine for grating ruling based on leverage load mode 期刊论文
Jixie Gongcheng Xuebao/Journal of Mechanical Engineering, 2016, 卷号: 52, 期号: 9
作者:  Jirigalantu;  X. Li;  K. Liu;  S. Zhang;  Bayanheshig;  X. Qi and Y. Tang
Adobe PDF(745Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：369/99  |  提交时间：2017/09/11
Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者:  Chen, Q.
Adobe PDF(791Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：381/121  |  提交时间：2017/09/11
磁悬浮微进给机构电磁场研究 期刊论文
电光与控制, 2004, 期号: 03, 页码: 23-25
作者:  杨秀华;  王延风;  卢志山
caj(50Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：444/79  |  提交时间：2013/03/11
Cad/cae  磁悬浮  直线电机  光刻机  有限元法  
磁悬浮微进给机构的PID控制 期刊论文
哈尔滨工业大学学报, 2004, 期号: 01, 页码: 28-31
作者:  宋文荣;  于国飞;  王延风;  何惠阳;  韩红霞
caj(227Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：472/93  |  提交时间：2013/03/11
磁悬浮  微进给机构  直线电机  Pid控制  电磁阻尼  时变  
磁悬浮微进给机构研究 期刊论文
中国机械工程, 2003, 期号: 13, 页码: 16-19+3
作者:  宋文荣;  于国飞;  王延风;  何惠阳
caj(166Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：357/51  |  提交时间：2013/03/11
磁悬浮  微进给机构  直线电机  超洁净  进给精度