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Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
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Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Wang, W.;  S. Jiang;  Y. Song and Bayanheshig
Adobe PDF(4373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/94  |  提交时间：2018/06/13
Active control technology to correct the quality of the grating wave-front 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 1
作者:  Yang, C.;  H. Yu;  S. Zhang;  H. Yu;  X. Li and Y. Tang
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光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究 期刊论文
湖南大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 3, 页码: 43-48
作者:  申远;  王俊杰;  竺长安;  齐向东
caj(926Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：354/142  |  提交时间：2015/04/17
光栅刻划机  光机电集成优化  计算傅里叶光学  智能优化  
刻线误差与面型误差对平面光栅光谱性能影响的二维快速傅里叶变换分析方法 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 11, 页码: 43-52
作者:  李晓天;  巴音贺希格;  齐向东;  于海利;  唐玉国
caj(2095Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：527/93  |  提交时间：2013/03/11
光栅  快速傅里叶变换  衍射波前  光栅指标  光栅刻线误差