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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：243/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：257/2  |  提交时间：2015/05/03
光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
含自由曲面反射望远系统装调研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  王钰
Adobe PDF(3417Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：287/3  |  提交时间：2015/05/03
自由曲面  计算机辅助装调  矢量波像差理论  人工神经网络  
超宽覆盖空间相机结构设计与优化 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  李畅
Adobe PDF(4446Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：357/2  |  提交时间：2014/08/21
光学表面频段误差对成像质量的影响研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  曾雪锋
Adobe PDF(20596Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：608/2  |  提交时间：2014/08/21
自由曲面表征函数及其应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  王超
Adobe PDF(5325Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：580/3  |  提交时间：2014/08/21
干涉仪的仪器传递函数检测方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  孙鸽
Adobe PDF(2452Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：443/2  |  提交时间：2014/03/15
菲索型干涉仪  干涉仪的仪器传递函数  空间频率响应特性  标准测试板