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| 半导体激光器波长筛选装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-05-18, 公开日期: 2011-05-18
发明人: 王立军 ; 刘云; 刘长军; 秦丽; 宁永强
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| 芯片自发式微电发生器的制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-06-09, 公开日期: 2010-06-09
发明人: 杨洪波; 陈长征; 滕玉鹃
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| 一种静电驱动的可调谐微型光学器件及其制作 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2005-01-12, 公开日期: 2005-01-12
发明人: 梁静秋; 鞠挥; 王淑荣
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| 一种静电驱动的可调谐微型光学器件 (实用新型) 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2003-09-10, 公开日期: 2003-09-10
发明人: 梁静秋
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| 有机微光机械振动/加速度传感结构及其制备方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2003-08-20, 公开日期: 2003-08-20
发明人: 高福斌; 张平; 刑汝冰; 金锋
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| 一种测量微夹力的微夹钳 （实用新型） 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 2352945, 申请日期: 1999-12-08, 公开日期: 1999-12-08
发明人: 李路明; 王立鼎; 张培
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