Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 芯片自发式微电发生器的制作方法 (发明) | |
杨洪波; 陈长征 ; 滕玉鹃
| |
| 2010-06-09 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2010-06-09 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明涉及一种微小电源，由众多微电发生单元阵列组成，微电发生单元之间通过其悬臂梁２连接，微电发生单元包括：振动质量块１、悬臂梁２、压电薄膜３、电极４。设计微电发生单元结构和阵列形式；用电感耦合等离子刻蚀或利用湿法腐蚀工艺，完成振动质量块和悬臂梁制作；用化学气相沉积工艺在悬臂梁表面制作压电薄膜；用溅射或蒸发金属层方法制作…… |
| 资助项目 | 1728526B |
| 申请号 | 200410011373.5 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11442 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨洪波,陈长征,滕玉鹃. 芯片自发式微电发生器的制作方法 (发明)[P]. 2010-06-09. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200600172852600000（382KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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