中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	一种静电驱动的可调谐微型光学器件及其制作 (发明)
	梁静秋; 鞠挥; 王淑荣
	2005-01-12
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2005-01-12
专利类型	发明专利
摘要	本发明提供一种体积小、工艺兼容、无电磁干扰、可靠性及精度高的静电驱动集成化微型可调谐红外滤光器及制作。有固定端１、８、１１，光栅主体２、滑动端３，连接结构４和５、悬臂梁６、叉指７、１２，锚点９、１３，定位栓１０、１６，气隙１４、衬底１５。硅片上生长ＳｉＯ↓［２］、下表面光刻、腐蚀、去除ＳｉＯ↓［２］、与衬底键合，上表面……
资助项目	1184498
申请号	2133087.5
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11255
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁静秋,鞠挥,王淑荣. 一种静电驱动的可调谐微型光学器件及其制作 (发明)[P]. 2005-01-12.

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CN200300140202300000（570KB）			开放获取	--	浏览 下载

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