有机微光机械振动/加速度传感结构及其制备方法 (发明)

	有机微光机械振动/加速度传感结构及其制备方法 (发明)
	高福斌; 张平; 刑汝冰; 金锋
	2003-08-20
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2003-08-20
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于硅基集成有机微光机械振动／加速度传感结构及其有机微光机械传感结构的制备方法。由单通道输入波导、多模干涉耦合器、双通道输出波导和微机械振动悬臂梁组成，采用有机光学材料制备微光机械结构的方法使得制备工艺简单、成本降低，实用。采用有机光学材料的可选择范围比无机光学材料大并可以进行分子结构合成改性，满足优化设计需要，……
资助项目	1118691
申请号	106325.1
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11123
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	高福斌,张平,刑汝冰,等. 有机微光机械振动/加速度传感结构及其制备方法 (发明)[P]. 2003-08-20.