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用于非球面检测的计算全息图制作研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵龙波
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计算全息图  非球面检测  激光直写  反应离子刻蚀  衍射光学元件加工  
一种用于点阵式无掩模光刻的曝光帧数据的产生方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210268327.8, 申请日期: 2014-10-15, 公开日期: 2014-10-15
发明人:  刘伟奇;  孟祥翔;  郭珍珍;  柳华;  康玉思;  魏忠伦;  冯睿
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超高精度非球面面形检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  高松涛
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金属/介质亚波长结构之超分辨特性研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  李伶俐
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Maskless lithography illumination system with double freeform surfaces for beam shaping 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2014, 卷号: 43, 期号: 5, 页码: 1505-1510
作者:  Meng X.;  Liu W.;  Wei Z.;  Liu H.;  Kang Y.;  Feng R.;  Zhang D.
caj(893Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:370/112  |  提交时间:2015/04/24