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| 基于衍射光栅的外差Littrow式精密位移测量系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 吕强
 caj(7246Kb) |  收藏 | 浏览/下载：142/0 | 提交时间：2020/08/24
精密测量 衍射光栅 多维度 大量程 误差分析 外差测量 Littow结构 |
| 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者: 王玮; 姜珊; 宋莹; 巴音贺希格
 caj(4189Kb) | 收藏 | 浏览/下载：394/153 | 提交时间：2018/04/09
光栅 扫描干涉场曝光系统 高斯光束 光斑尺寸 光路设计 |
| Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Mi, X.; H. Yu; H. Yu; X. Qi; X. Li and Q. Wan
 浏览 | Adobe PDF(3436Kb) | 收藏 | 浏览/下载：351/125 | 提交时间：2018/06/13 |
| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig
浏览 | Adobe PDF(4373Kb) | 收藏 | 浏览/下载：291/95 | 提交时间：2018/06/13 |
| 罗兰光栅在光谱仪中对接收能量的影响分析 期刊论文
光学技术, 2016, 期号: 5, 页码: 445-449
作者: 周辉; 张善文; 崔继承; 王玮; 赵旭龙; 李晓天
caj(706Kb) | 收藏 | 浏览/下载：382/149 | 提交时间：2017/09/17
罗兰光栅 刻线误差 曲率半径误差 定位误差 |
| Study on the Effects and Compensation Effect of Recording Parameters Error on Imaging Performance of Holographic Grating in On-Line Spectral Diagnose 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2016, 卷号: 36, 期号: 3
作者: Jiang, Y. X.; Bayanheshig; S. Yang; X. L. Zhao; N. Wu and W. H. Li
浏览 | Adobe PDF(524Kb) | 收藏 | 浏览/下载：285/76 | 提交时间：2017/09/11 |
| 全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 宋莹
Adobe PDF(5623Kb) | 收藏 | 浏览/下载：505/2 | 提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光 扫描干涉场曝光 干涉条纹 移频式 静态相位锁定 动态相位锁定 Aom |
| 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者: 姜珊; 巴音贺希格; 李文昊; 宋莹; 潘明忠
caj(447Kb) | 收藏 | 浏览/下载：358/104 | 提交时间：2015/04/17
光栅 扫描干涉场曝光系统 相位锁定 光栅周期 刻线误差 |
| 超声强化液固传质动力学模型与硅中阶梯光栅湿法刻蚀技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 焦庆斌
Adobe PDF(5377Kb) | 收藏 | 浏览/下载：291/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| TMT三镜系统Rotator组件结构技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 苏燕芹
Adobe PDF(6237Kb) | 收藏 | 浏览/下载：363/1 | 提交时间：2014/08/21 |
