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Effect of deposition temperature on the structural and surface properties of AlN by plasma enhanced atomic layer deposition 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 4
作者:  Chen, F.;  X. Fang;  S. Wang;  S. Niu;  F. Fang;  D. Fang;  J. Tang;  X. Wang;  G. Liu and Z. Wei
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Smooth surface morphology of ZnO thin films on sapphire at low temperature 期刊论文
Faguang Xuebao/中文 Journal of Luminescence, 2014, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 542-547
作者:  Zhao P.-C.;  Zhang Z.-Z.;  Yao B.;  Li B.-H.;  Wang S.-P.;  Jiang M.-M.;  Zhao D.-X.;  Shan C.-X.;  Zhao H.-F.;  Liu L.;  Shen D.-Z.
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