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甚大口径分体自重组式主镜系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  杨会生
caj(7695Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：223/0  |  提交时间：2020/08/24
分体自重组  甚大口径  共相技术  位姿调整  误差修正  参量解析  
高精度碳纤维反射镜设计方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  宫鹏
caj(4089Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：99/0  |  提交时间：2020/08/24
碳纤维反射镜  经典层合板理论  铺层角度误差  像散像差  有限元计算  Zernike多项式  
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
caj(8435Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：208/0  |  提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜