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Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:  Zhang, Lu;  Xiang, Yang
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Shearing  Aberrations  Errors  Interferometers  Measurement  Wavefronts  
Study on High Precision Magnification Measurement of Imaging Systems 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 7
作者:  Dong, Guanji;  Tang, Feng;  Wang, Xiangzhao;  Feng, Peng;  Guo, Fudong;  Peng, Changzhe
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Interferometry  CCD cameras  Diffraction  Imaging systems  Measurement  Uncertainty analysis  
High-precision position control of a gene sequencer motion stage 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2455-2462
作者:  Fu, Yun-Bo;  Guo, Tong-Jian
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Controllers  Computer control systems  Equations of motion  Frequency domain analysis  Genes  Permanent magnets  Position control  Synchronous motors  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
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Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts