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同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118
作者:  徐象如;  黄玮;  贾树强;  徐明飞
caj(1710Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：326/96  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  投影光刻物镜  热像差  元件位移  分区加热  
Linearity calibration method of the high-precision displacement sensor 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 982-988
作者:  Zhang, D.;  C. Ge;  X. Li;  M. Ni;  K. Guo and P. Li
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