中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助

限定条件        
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/109  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差  
光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究 期刊论文
湖南大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 3, 页码: 43-48
作者:  申远;  王俊杰;  竺长安;  齐向东
caj(926Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：370/151  |  提交时间：2015/04/17
光栅刻划机  光机电集成优化  计算傅里叶光学  智能优化  
Influence of running accuracy of ruling carriage system on grating spectrum performance 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2014, 卷号: 22, 期号: 10, 页码: 2674-2682
作者:  Yang C.;  Yu H.-L.;  Feng S.-L.;  Li X.-T.;  Qi X.-D.;  Jiang S.;  Tang Y.-G.
浏览  |  Adobe PDF(1639Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：383/145  |  提交时间：2015/04/24