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| 全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 宋莹
 Adobe PDF(5623Kb) |  收藏 | 浏览/下载：518/2 | 提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光 扫描干涉场曝光 干涉条纹 移频式 静态相位锁定 动态相位锁定 Aom |
| 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者: 姜珊; 巴音贺希格; 李文昊; 宋莹; 潘明忠
 caj(447Kb) | 收藏 | 浏览/下载：376/109 | 提交时间：2015/04/17
光栅 扫描干涉场曝光系统 相位锁定 光栅周期 刻线误差 |
| 超声强化液固传质动力学模型与硅中阶梯光栅湿法刻蚀技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 焦庆斌
Adobe PDF(5377Kb) | 收藏 | 浏览/下载：307/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| TMT三镜系统Rotator组件结构技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 苏燕芹
Adobe PDF(6237Kb) | 收藏 | 浏览/下载：365/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究 期刊论文
湖南大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 3, 页码: 43-48
作者: 申远; 王俊杰; 竺长安; 齐向东
caj(926Kb) | 收藏 | 浏览/下载：370/151 | 提交时间：2015/04/17
光栅刻划机 光机电集成优化 计算傅里叶光学 智能优化 |
| Influence of running accuracy of ruling carriage system on grating spectrum performance 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2014, 卷号: 22, 期号: 10, 页码: 2674-2682
作者: Yang C.; Yu H.-L.; Feng S.-L.; Li X.-T.; Qi X.-D. ; Jiang S.; Tang Y.-G.
 浏览 | Adobe PDF(1639Kb) | 收藏 | 浏览/下载：383/145 | 提交时间：2015/04/24 |
