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极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者:  鹿国庆;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(416Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：547/172  |  提交时间：2014/03/07
光学器件  极紫外光刻  碳氢化合物污染模型  多层膜光学元件  二次电子  
Time behavior and optimum conditions for the Xe gas extreme ultraviolet source 期刊论文
Acta Physica Sinica, 2013, 卷号: 62, 期号: 24
作者:  Zhao Y. P.;  Xu Q.;  Xiao D. L.;  Ding N.;  Xie Y.;  Li Q.;  Wang Q.
Adobe PDF(494Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：452/104  |  提交时间：2014/05/14