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光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制 期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1452-1455
作者:  齐克奇;  向阳
caj(1097Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：539/125  |  提交时间：2013/03/11
光刻投影物镜  波像差  相移测量  桥式放大机构  有限元  
光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 46-48+45
作者:  齐克奇
caj(2025Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：534/118  |  提交时间：2013/03/11
光刻物镜波像差检测平台  针孔定位  自解耦  有限元方法  
大口径望远镜波像差的外场检验方法 期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 01, 页码: 39-42
作者:  李宏壮;  王志臣;  王富国;  张振铎;  刘欣悦
caj(537Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：477/146  |  提交时间：2013/03/11
大口径望远镜  波像差检测  Shack-hartmann传感器  
Shack-Hartmann波前传感器在光学检验中的应用 期刊论文
应用光学, 2012, 期号: 01, 页码: 134-138
作者:  李宏壮;  王志臣;  刘欣悦;  卫沛峰;  明名;  孟浩然
caj(2859Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：493/151  |  提交时间：2013/03/11
Shack-hartmann波前传感器  面形检测  波像差检测  光学检验