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| 一种光栅尺周期内精度的自动检测装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-11, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 曾琪峰; 吴宏圣; 乔栋; 孟辉; 孙强; 张立华 Adobe PDF(376Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:471/87  |  提交时间:2012/08/29 |
| 真空紫外半球反射率测试装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-04, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 李博; 王淑荣; 林冠宇; 黄煜; 王俊博 Adobe PDF(379Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:646/94  |  提交时间:2012/08/29 |
| 光栅刻划机控制系统 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-27, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 唐玉国; 朱继伟; 巴音贺希格; 齐向东; 于宏柱 Adobe PDF(510Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:406/57  |  提交时间:2012/08/29 |
| 多传感器图像融合处理系统 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13 发明人: 武治国; 王明佳 Adobe PDF(368Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:465/67  |  提交时间:2012/08/29 |
| 辐照密度高均匀性的ArF激光薄膜元件损伤测试装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-28, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 邓文渊; 金春水; 常艳贺; 靳京城 Adobe PDF(549Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:499/68  |  提交时间:2012/08/29 |