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Fast and High Quality Composite Processing Method for Silicon Carbide Wafers 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 13
作者:  C. Yang,F. Li,T. Ren,Y. Wei and Y. Bai
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Manufacture of Silicon Modification Layer on Silicon Carbide Surface by Magnetorheological Finishing 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者:  Bai, Y.;  F. Zhang;  L. Li;  L. Zheng and X. Zhang
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